| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR DECISION OF THICKNESS OF POLYSILICON/SILICON INTERFACE OXIDE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0697252(A) |
申请公布日期 |
1994.04.08 |
| 申请号 |
JP19920050115 |
申请日期 |
1992.03.09 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
RICHIYAADO JIYON MAAFUII;JIEROOMU DEEBUIDO SHITSUKU;HAWAADO RONARUDO UIRUSON |
| 分类号 |
H01L21/66;G01B7/06;G01B15/02;G01R31/26;G01R31/305;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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