发明名称 DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0697123(A) 申请公布日期 1994.04.08
申请号 JP19920245097 申请日期 1992.09.14
申请人 SONY CORP 发明人 KADOMURA SHINGO
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址