| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR EVALUATING SILICON WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0697249(A) |
申请公布日期 |
1994.04.08 |
| 申请号 |
JP19920242825 |
申请日期 |
1992.09.11 |
| 申请人 |
IKUTOKU GAKUEN;SHOWA DENKO KK |
发明人 |
OGITA YOICHIRO;YAKUSHIJI KENJI |
| 分类号 |
G01B15/02;G01B15/08;G01N27/00;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01B15/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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