发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0697196(A) 申请公布日期 1994.04.08
申请号 JP19920242110 申请日期 1992.09.10
申请人 NIPPON SHEET GLASS CO LTD 发明人 ARIMA YASUTOMO;TAGAMI TAKASHI;YAMAOKA TOMONORI;TANAKA SHUHEI
分类号 H01L21/20;H01L21/02;H01L21/265;H01L21/268;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/336;H01L29/784 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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