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发明名称 MANUFACTURE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0697189(A) 申请公布日期 1994.04.08
申请号 JP19920242193 申请日期 1992.09.10
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 OMORI TAKASHI
分类号 H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336;H01L29/784 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
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