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发明名称 DEVICE AND METHOD FOR CONTROLLING WAFER TRANSFER
摘要
申请公布号 JPH0697261(A) 申请公布日期 1994.04.08
申请号 JP19920265533 申请日期 1992.09.09
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 MATSUBUCHI YOSHIYUKI
分类号 B28D5/00;B65G43/08;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B28D5/00
代理机构 代理人
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