| 发明名称 |
USE OF OXYALKYL CHLORIDE FOR MANUFACTURE OF SILICON DIOXIDE FILM DOPED WITH CHLORIDE ON SILICON SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0697157(A) |
申请公布日期 |
1994.04.08 |
| 申请号 |
JP19930126537 |
申请日期 |
1993.05.28 |
| 申请人 |
OLIN CORP |
发明人 |
MAIKURU JIEI MAKUGIARII;HAAMAN JIEI BOOGURIN |
| 分类号 |
C23F1/44;H01L21/00;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
C23F1/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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