| 发明名称 |
CONTROLLING SYSTEM FOR MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0697019(A) |
申请公布日期 |
1994.04.08 |
| 申请号 |
JP19920273758 |
申请日期 |
1992.09.16 |
| 申请人 |
MIYAZAKI OKI ELECTRIC CO LTD;OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
TAGAMI RYOICHI |
| 分类号 |
H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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