| 发明名称 |
MEMORY LSI DESIGN SYSTEM AND INSPECTION METHOD THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0697383(A) |
申请公布日期 |
1994.04.08 |
| 申请号 |
JP19920246189 |
申请日期 |
1992.09.16 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP |
发明人 |
UDAGAWA SATORU;MORINO MAKOTO |
| 分类号 |
G01R31/28;G06F17/50;H01L21/66;H01L27/10;(IPC1-7):H01L27/10;G06F15/60 |
主分类号 |
G01R31/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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