发明名称 Verfahren zur Herstellung von Siliciumtetrachlorid
摘要
申请公布号 DE3442370(C2) 申请公布日期 1994.04.07
申请号 DE19843442370 申请日期 1984.11.20
申请人 DENKI KAGAKU KOGYO K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 SHINOYAMA, MASAYUKI, NIIKAGA, JP;MATSUMURA, HIDEKI, NIIKAGA, JP
分类号 C01B33/107;(IPC1-7):C01B33/107 主分类号 C01B33/107
代理机构 代理人
主权项
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