| 发明名称 |
Method for monitoring the thickness of an antireflection layer and apparatus for carrying out the same. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0407298(B1) |
申请公布日期 |
1994.04.06 |
| 申请号 |
EP19900401936 |
申请日期 |
1990.07.04 |
| 申请人 |
FRANCE TELECOM |
发明人 |
LANDREAU, JEAN;NAKAJIMA, HISAO |
| 分类号 |
G01B11/06;C23C14/54;H01S5/00;H01S5/028;(IPC1-7):H01L33/00;H01S3/025 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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