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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0626193(B2) 申请公布日期 1994.04.06
申请号 JP19880055957 申请日期 1988.03.11
申请人 SHINETSU SEKIEI KK 发明人 KIMURA HIROSHI
分类号 H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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