发明名称 An exposure apparatus.
摘要
申请公布号 EP0295860(B1) 申请公布日期 1994.04.06
申请号 EP19880305405 申请日期 1988.06.14
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 TORIGOE, MAKOTO;SUZUKI, AKIYOSHI
分类号 G03F9/00;(IPC1-7):H01L21/30;H01L21/00;G03F7/20 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
主权项
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