摘要 |
In Figur 1 ist ein Längenmeßsystem dargestellt, bei dem die Teilungsperiode (TP1) des Maßstabgitters (4) halb so groß ist wie die Teilungsperiode (TP2) des Abtastgitters (3). Die zueinander phasenverschobenen Interferenzsignale (J+1, J0, J-1) werden mit einem Detektor (5) ausgewertet. <IMAGE>
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