发明名称
摘要
申请公布号 JPH0626187(B2) 申请公布日期 1994.04.06
申请号 JP19870092712 申请日期 1987.04.14
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TANAKA TOSHIO;NARA AIICHIRO
分类号 H01L21/205;H01S5/00;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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