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摘要
申请公布号
JPH0626187(B2)
申请公布日期
1994.04.06
申请号
JP19870092712
申请日期
1987.04.14
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
TANAKA TOSHIO;NARA AIICHIRO
分类号
H01L21/205;H01S5/00;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
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