发明名称 Fabrication of FET integrated circuits.
摘要
申请公布号 EP0319215(B1) 申请公布日期 1994.04.06
申请号 EP19880311215 申请日期 1988.11.25
申请人 AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY 发明人 LEE, KUO-HUA;LU, CHIH-YUAN;YANEY, DAVID STANLEY
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/336;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/285 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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