| 发明名称 | 硫化锌薄膜的真空补硫法 | ||
| 摘要 | 硫化锌薄膜的真空补硫法是一种用于电致发光薄膜的补硫方法，采用双元蒸发或溅射法在基片上沉积ZnS:Mn薄膜，将它与适量的硫分别装在不同的容器内，再一起共装于一个密闭的真空容器中。真空容器中的压强应低于1帕。再进行热处理，其温度为450～600℃，保温时间为1～4小时，具有设备简单、操作方便等优点。 | ||
| 申请公布号 | CN1084902A | 申请公布日期 | 1994.04.06 |
| 申请号 | CN92107771.8 | 申请日期 | 1992.09.26 |
| 申请人 | 东南大学 | 发明人 | 陈国平 |
| 分类号 | C23C14/06;C23C14/58;C23C14/24;H05B33/10;H05B33/14 | 主分类号 | C23C14/06 |
| 代理机构 | 东南大学专利事务所 | 代理人 | 楼高潮;柯景风 |
| 主权项 | 1、一种用于电致发光薄膜补硫的硫化锌薄膜真空补硫法，采用双元蒸发或溅射法在基片上沉积ZnS∶Mn薄膜，其特征在于将沉积有ZnS∶Mn薄膜的基片放置在容器内，并与装有适量硫的容器一起密封在真空容器中，再进行热处理。 | ||
| 地址 | 210018江苏省南京市四牌楼2号 | ||