| 发明名称 |
GLOW DISCHARGE METHOD AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0693454(A) |
申请公布日期 |
1994.04.05 |
| 申请号 |
JP19930112815 |
申请日期 |
1993.05.14 |
| 申请人 |
MITSUBISHI KASEI CORP |
发明人 |
MIZUNO TAKASHI;KUDO DAIJIRO |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;C30B25/02;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H05H1/46;(IPC1-7):C23C16/50 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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