| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR FORMING THIN FILM FOR GAS SENSOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0693444(A) |
申请公布日期 |
1994.04.05 |
| 申请号 |
JP19920272521 |
申请日期 |
1992.09.16 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
MIYAMOTO MAKOTO;NISHIKAWA TOMOSHI;ISODA SATORU |
| 分类号 |
C23C14/54;(IPC1-7):C23C14/54 |
主分类号 |
C23C14/54 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
