| 发明名称 |
SIC-CVD COATED AND SI IMPREGNATED SIC PRODUCT AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0692761(A) |
申请公布日期 |
1994.04.05 |
| 申请号 |
JP19920268140 |
申请日期 |
1992.09.10 |
| 申请人 |
SHIN ETSU CHEM CO LTD |
发明人 |
OHASHI TOSHIYASU;SATO KENJI |
| 分类号 |
C04B41/87;C04B41/52;(IPC1-7):C04B41/87 |
主分类号 |
C04B41/87 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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