| 发明名称 |
CUTTING STATE MONITORING DEVICE FOR INNER PERIPHERAL BLADE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0691633(A) |
申请公布日期 |
1994.04.05 |
| 申请号 |
JP19920243190 |
申请日期 |
1992.09.11 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD |
发明人 |
TANAKA SHIGEO;SATO HIROO |
| 分类号 |
B23Q15/00;B23Q17/09;B28D1/22;B28D5/00;B28D5/02;H01L21/304;(IPC1-7):B28D5/00 |
主分类号 |
B23Q15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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