发明名称 SPUTTERING CATHODE
摘要
申请公布号 JPH0693441(A) 申请公布日期 1994.04.05
申请号 JP19910355956 申请日期 1991.12.20
申请人 ULVAC JAPAN LTD 发明人 SUWA HIDENORI;SATO SHIGEMITSU
分类号 C23C14/34;C23C14/35;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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