| 发明名称 |
APPARATUS FOR PRODUCTION OF THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0692789(A) |
申请公布日期 |
1994.04.05 |
| 申请号 |
JP19920238638 |
申请日期 |
1992.09.07 |
| 申请人 |
OSAKA GAS CO LTD |
发明人 |
IPPONMATSU MASAMICHI;SASAKI HIROICHI;OTOSHI MASAJI;SUZUKI MINORU;KAJIMURA ATSUKO;SUGIURA NOZOMI |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/56;C30B23/08;H01L21/203;H01S3/00;H05H1/46;(IPC1-7):C30B23/08 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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