发明名称 |
Thermal sensor |
摘要 |
A two-level IR detector imaging array of high fill-factor design. The upper microbridge detector level is spaced above and overlies the integrated circuit and bus lines on the substrate surface below.
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申请公布号 |
US5300915(A) |
申请公布日期 |
1994.04.05 |
申请号 |
US19860887495 |
申请日期 |
1986.07.16 |
申请人 |
HONEYWELL INC. |
发明人 |
HIGASHI, ROBERT E.;HOLMEN, JAMES O.;JOHNSON, ROBERT G. |
分类号 |
H01L27/16;(IPC1-7):H01L27/14;H01L31/101;G01J5/20;G01J5/24 |
主分类号 |
H01L27/16 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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