| 发明名称 |
PARTICLE DETECTION METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0694597(A) |
申请公布日期 |
1994.04.05 |
| 申请号 |
JP19920341084 |
申请日期 |
1992.11.30 |
| 申请人 |
USHIO INC |
发明人 |
NAKADA SHIGENORI;YAMAGUCHI MASANORI;KAMIYA SEISAKU;SATO SHINTARO;UCHIYAMA TAKAHIRO |
| 分类号 |
G01N15/00;G01N15/14;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):G01N15/14 |
主分类号 |
G01N15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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