| 发明名称 |
SURFACE SHAPE MEASURING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0694433(A) |
申请公布日期 |
1994.04.05 |
| 申请号 |
JP19920247605 |
申请日期 |
1992.09.17 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TSUBOI RYUNOSUKE;FUNATSU RYUICHI;FUJII KEN;NAKAYAMA YASUHIKO |
| 分类号 |
G01B11/24;G01B11/30;(IPC1-7):G01B11/24 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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