发明名称 PROCEDIMIENTO Y DISPOSITIVO DE RECUBRIMIENTO DE SUBSTRATOS.
摘要 PROCEDIMIENTO Y DISPOSITIVO PARA EL RECUBRIMIENTO DE SUBSTRATOS (1, 1'', ...) PREFERIBLEMENTE MEDIANTE PULVERIZADO CATODICO EN UNA INSTALACION DE VACIO QUE SE COMPONE DE POR LO MENOS UNA CAMARA (6) DE PULVERIZADO, EN LA QUE SE PUEDEN APLICAR DIFERENTES SISTEMAS DE CAPAS A LOS SUBSTRATOS (1, 1'', ...) PREFERIBLEMENTE CURVADOS A SER RECUBIERTOS, LOS SUBSTRATOS (1, 1'', ...) SE PUEDEN MOVER EN UN SENTIDO (B) DE LA MARCHA A TRAVES DE LA CAMARA (6) DE PULVERIZADO Y RECORREN LA CAMARA (6) DE PULVERIZADO EN EL SENTIDO (B) DE LA MARCHA ASI COMO EN EL SENTIDO OPUESTO VARIAS VECES A LA MANERA LLAMADA DE MULTIPASO, DONDE LOS SUBSTRATOS (1, 1'', ...) A SER RECUBIERTOS SE REUNEN A LA ENTRADA DE LA CAMARA (6) DE PULVERIZADO EN GRUPOS DE VARIOS, PREFERIBLEMENTE DE DOS SUBSTRATOS (1, 1'', ...) POR GRUPO, O BIEN DE CARRIERS (12, 12'', ...) QUE LLEVAN A LOS SUBSTRATOS, Y RECORREN LA CAMARA (6) DE PULVERIZADO SIMULTANEAMENTEA LA MANERA LLAMADA DE MULTIPASO DUAL.
申请公布号 ES2036956(B1) 申请公布日期 1994.04.01
申请号 ES19920000529 申请日期 1992.03.10
申请人 LEIBOLD AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 HARTING KLAUS;SCHAEFER CHRISTIAN
分类号 C23C14/34;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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