发明名称 Improved evaporation source
摘要
申请公布号 GB985832(A) 申请公布日期 1965.03.10
申请号 GB19620038660 申请日期 1962.10.12
申请人 UNION CARBIDE CORPORATION 发明人
分类号 B01D7/00;B01L7/02 主分类号 B01D7/00
代理机构 代理人
主权项
地址