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发明名称 Strahlungsquelle für teilkohärente Strahlung.
摘要
申请公布号 DE59004676(D1) 申请公布日期 1994.03.31
申请号 DE19905004676 申请日期 1990.10.05
申请人 FA. CARL ZEISS, 73447 OBERKOCHEN, DE 发明人 VRY, UWE, DR., W-7080 AALEN, DE;FREISCHLAD, KLAUS, DR., W-7080 AALEN, DE;KUECHEL, MICHAEL, DR., W-7082 OBERKOCHEN, DE;DORSEL, ANDREAS, DR., W-7080 AALEN, DE
分类号 (IPC1-7):H01S3/103;H01S3/25 主分类号 (IPC1-7):H01S3/103
代理机构 代理人
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