Vorrichtung für die Verdampfung und Bereitstellung von Organometallverbindungen.,申请号DE19906006809-传众专利搜索

发明名称	Vorrichtung für die Verdampfung und Bereitstellung von Organometallverbindungen.
摘要
申请公布号	DE69006809(D1)	申请公布日期	1994.03.31
申请号	DE19906006809	申请日期	1990.09.11
申请人	STEC INC., KYOTO, JP;SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP	发明人	MIHIRA, HIROSHI, C/O STEC INC., KYOTO-SHI, KYOTO 601, JP;SHIMIZU, TETSUO, C/O STEC INC., KYOTO-SHI, KYOTO 601, JP;HIRAHARA, KAZUHIRO, C/O SHIN-ETSU CHEMICAL CO. LTD, KUBIKI-MURA NAKAKUBIKI-GUN NIGATA 942-01, JP;ISHIHARA, TOSHINOBU, C/O SHIN-ETSU CHEMICAL CO.LTD, KUBIKI-MURA NAKAKUBIKI-GUN NIGATA 942-01, JP;TAKAYA, SEIKI, C/O SHIN-ETSU CHEMICAL CO. LTD., KUBIKI-MURA NAKAKUBIKI-GUN NIGATA 942-01, JP
分类号	C23C16/448;C30B25/14;(IPC1-7):C23C16/44;C23C16/30	主分类号	C23C16/448
代理机构		代理人
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