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发明名称
摘要
申请公布号 EP0446939(A3) 申请公布日期 1994.03.30
申请号 EP19910104008 申请日期 1991.03.15
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 ADACHI, TAKAO;ABE, KEIICHI
分类号 H01L21/3205;G03F7/20;H01L21/311;H01L21/32;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/32 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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