发明名称 APPARATUS FOR DEPOSITION OF LAYERS FROM GAS PHASE
摘要
申请公布号 RU2010043(C1) 申请公布日期 1994.03.30
申请号 SU19915004735 申请日期 1991.07.01
申请人 KONONCHUK IGOR IVANOVICH 发明人 KONONCHUK IGOR I
分类号 C30B25/14;(IPC1-7):C30B25/14 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
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