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发明名称 METHOD OF DETERMINATION OF SHALLOW-LYING IMPURITY IN PHOTORESISTORS
摘要
申请公布号 RU1385935(C) 申请公布日期 1994.03.30
申请号 SU19843717776 申请日期 1984.04.02
申请人 ZYKOV N.V.;SURIS R.A.;FUKS B.I.;GONTAR V.M.;FETISOV E.A.;KHROMOV S.M. 发明人 ZYKOV N.V.;SURIS R.A.;FUKS B.I.;GONTAR V.M.;FETISOV E.A.;KHROMOV S.M.
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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