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发明名称
摘要
申请公布号	JPH0624264(B2)	申请公布日期	1994.03.30
申请号	JP19860022494	申请日期	1986.02.04
申请人	KOGYO GIJUTSUIN	发明人	SEKIKAWA TOSHIHIRO;HAYASHI YUTAKA
分类号	H01L49/02;H01L21/336;H01L29/66;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L49/02;H01L29/784	主分类号	H01L49/02
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