| 发明名称 |
VAPOR GROWTH DEVICE AND VAPOR GROWTH METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0689865(A) |
申请公布日期 |
1994.03.29 |
| 申请号 |
JP19920240784 |
申请日期 |
1992.09.09 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
KANIE TOMOHIKO |
| 分类号 |
B01J19/12;C23C16/48;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
B01J19/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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