| 发明名称 |
TEST BOARD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0688857(A) |
申请公布日期 |
1994.03.29 |
| 申请号 |
JP19920238099 |
申请日期 |
1992.09.07 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD |
发明人 |
TANABE YASUAKI |
| 分类号 |
G01R31/26;H01L21/66;H01L23/32;H01R33/76;H01R33/88;(IPC1-7):G01R31/26 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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