| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR DRY ETCHING OF CHAMPAGNE CONTOUR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0689885(A) |
申请公布日期 |
1994.03.29 |
| 申请号 |
JP19910216682 |
申请日期 |
1991.01.29 |
| 申请人 |
GENERAL SIGNAL CORP |
发明人 |
HAWAADO ESU KURASAKI;BAABARA EFU UESUTORANDO;JIEIMUZU II NURUTEII;II JIYON BUOURUZU |
| 分类号 |
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/302 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
