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发明名称 EQUIPMENT FOR EVAPORATION OF MATERIALS IN VACUUM
摘要
申请公布号 RU2010033(C1) 申请公布日期 1994.03.30
申请号 SU19914932148 申请日期 1991.03.20
申请人 VASILENKO NIKOLAJ VASILEVICH;IVASHOV EVGENIJ NIKOLAEVICH;ORINCHEV SERGEJ MIKHAJLOVICH;RODIONOV YURIJ SERGEEVICH;STEPANCHIKOV SERGEJ VALENTINOVICH 发明人 VASILENKO NIKOLAJ V;IVASHOV EVGENIJ N;ORINCHEV SERGEJ M;RODIONOV YURIJ S;STEPANCHIKOV SERGEJ V
分类号 C23C14/26;(IPC1-7):C23C14/26 主分类号 C23C14/26
代理机构 代理人
主权项
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