发明名称 SEMICONDUCTOR PELLET AND COLLING DEVICE INCORPORATING IT
摘要
申请公布号 JPH0689956(A) 申请公布日期 1994.03.29
申请号 JP19920239299 申请日期 1992.09.08
申请人 HITACHI LTD 发明人 UCHIDA KAZUO;MIZUNO CHIYOUICHIROU
分类号 H01L23/473;(IPC1-7):H01L23/473 主分类号 H01L23/473
代理机构 代理人
主权项
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