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经营范围
发明名称
ETCHING EQUIPMENT
摘要
申请公布号
JPH0689880(A)
申请公布日期
1994.03.29
申请号
JP19920265380
申请日期
1992.09.08
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
ISHIZUKA SHUICHI;KAWAMURA GOHEI;HATA JIRO
分类号
H01L21/302;H01J37/32;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H01L21/302
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
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