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发明名称 DELIVERY JIG AND DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0687531(A) 申请公布日期 1994.03.29
申请号 JP19920240352 申请日期 1992.09.09
申请人 HITACHI LTD 发明人 NITTA TAKEHISA;SAITO YOSHIO;TOMIOKA HIDEKI;TANABE YOSHIKAZU
分类号 B65G49/07;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):B65G49/07 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
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