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发明名称 NON-CONTACT TYPE SHAPE INSPECTING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0688713(A) 申请公布日期 1994.03.29
申请号 JP19920238749 申请日期 1992.09.08
申请人 KOWA CO 发明人 SUZUKI TAKAYOSHI
分类号 G01B11/24;(IPC1-7):G01B11/24 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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