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发明名称 ION IMPLANTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0689691(A) 申请公布日期 1994.03.29
申请号 JP19920239679 申请日期 1992.09.08
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 IWAMATSU SEIICHI
分类号 H01J27/08;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J27/08
代理机构 代理人
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