发明名称 WAVEGUIDE STRUCTURE SEMICONDUCTOR PHOTODETECTOR
摘要
申请公布号 JPH0690016(A) 申请公布日期 1994.03.29
申请号 JP19920264199 申请日期 1992.09.07
申请人 NEC CORP 发明人 WATANABE ISAO
分类号 G02F1/025;H01L31/10;(IPC1-7):H01L31/10 主分类号 G02F1/025
代理机构 代理人
主权项
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