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发明名称 CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0689684(A) 申请公布日期 1994.03.29
申请号 JP19910054856 申请日期 1991.03.19
申请人 MITSUBISHI HEAVY IND LTD;JEOL LTD 发明人 OBATA KOJI;KOBUNA SADATOSHI
分类号 H01J37/147;(IPC1-7):H01J37/147 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
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