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发明名称 PLASMA TREATMENT EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH0689877(A) 申请公布日期 1994.03.29
申请号 JP19920239689 申请日期 1992.09.08
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 TSUCHIDA TOMOAKI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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