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发明名称 Dünnfilmtransistor.
摘要
申请公布号 DE68909973(T2) 申请公布日期 1994.03.24
申请号 DE1989609973T 申请日期 1989.03.15
申请人 SEIKO EPSON CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 NAKAZAWA, TAKASHI, SUWA-SHI NAGANO-KEN, JP
分类号 G02F1/1368;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/78;G02F1/133 主分类号 G02F1/1368
代理机构 代理人
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