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发明名称 METHOD OF FABRICATING A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR940002394(B1) 申请公布日期 1994.03.24
申请号 KR19900019974 申请日期 1990.12.06
申请人 TOSHIBA CO., LTD. 发明人 SHINADA, KAZUYOSHI;YOSHIDA, MASAYUKI;MIZUTANI, TAKAHIDE;HANADA, NAOKI
分类号 H01L21/82;H01L21/8234;H01L21/8247;H01L27/088;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L27/115 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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