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发明名称 Verfahren zur Herstellung eines REFETs oder eines CHEMFETs, sowie deren Herstellung.
摘要
申请公布号 DE3788388(T2) 申请公布日期 1994.03.24
申请号 DE19873788388T 申请日期 1987.09.03
申请人 PRIVA AGRO HOLDING B.V., DE LIER, NL 发明人 SUDHOELTER, ERNST, JAN ROBERT, NL-7581 GD LOSSER, NL;SKOWRONSKA-PTASINSKA, MARIA DANUTA, NL-7522 LR ENSCHEDE, NL;VAN DER WAL, PETER DOUWE, NL-7522 MD ENSCHEDE, NL;VAN DEN BERG, ALBERT, NL-7511 DP ENSCHEDE, NL;REINHOUDT, DAVID NICOLAAS, NL-7552 GD HENGELO, NL
分类号 G01N27/00;G01N27/30;G01N27/414;H01L29/78;(IPC1-7):G01N27/414 主分类号 G01N27/00
代理机构 代理人
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