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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0621352(B2) 申请公布日期 1994.03.23
申请号 JP19850290577 申请日期 1985.12.25
申请人 HITACHI LTD 发明人 SAITO YUTAKA;SANO HIDEZO;SUZUKI YASUMICHI;AIUCHI SUSUMU
分类号 H01L21/285;C23C14/35;C23C14/36;H01L21/203;H01L21/31;(IPC1-7):C23C14/35 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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